火星文最早于 上世纪90年代在台湾网络出现。由于当时的网络聊天室没有密谈功能，聊天者为了不让他人看懂聊天内容，开始用各种代替手段掩盖本字。其中，“火星”一词，出自聊天室入口处输入的地区名。有人不愿输入真实地区名，就戏用“火星”代替，于是旁人就戏称他们使用的隐曲难晓的文字为“火星文”。

随着互联网、网络游戏和即时通讯工具的普及，火星文在年轻用户中传播开来，它反映了90后一代的文化特征和交往习惯。火星文最早在台湾地区流行，并随着互联网的发展，传播到大陆和其他地区。

在中国大陆，火星文最早约出现于2002-2003年，系由无良商人朱骏在其运营之网络游戏《奇迹》中设立外挂举报制度所致，众玩家为规避举报而使用近似乱码之异体“汉字”作为人物名，以期达到令举报者无法输入被举报角色名字之目的。尔后乱码字作为时尚被应用到QQ资料，进而扩散到如今的各个场合。

综上所述，火星文最早于上世纪90年代在台湾网络出现，并随着互联网的发展，传播到大陆和其他地区。火星文的使用群体多为使用网络频度最高的青少年，他们利用各种聊天工具和BBS将火星文传播并迅速流行。